氦檢質譜漏儀的原理 氦檢質譜漏儀可查找漏點位置并測定漏率(通過漏孔的氣體流量)。因此,氦質譜檢漏儀是一臺氦流量計。 檢漏儀在工作過程中首先是對試驗對象進行抽真空,來形成壓差使外部氣體穿過漏孔進入檢漏儀。檢漏儀利用內置氦質譜儀測量進入檢漏儀氣體氦分壓并將測量結果轉換為漏率顯示。萊寶氦質譜L300i MODUL PHOENIX檢漏儀租賃
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