STP-XA2703C 渦輪泵為高真空到 2300 sccm 制程流的制程范圍內提供高性能,并提高所有氣體的吞吐量。
此泵基于新的平臺設計,提供各種功能以改善熱管理,從而增強在嚴苛制程中的性能,提高大制程流能力,并減少腐蝕和沉積的影響。
其出色的性能既適用于溫和的應用環境,也適用于嚴苛的環境,例如半導體刻蝕、注入、光刻和 LCD 制程。英國愛德華渦輪分子真空泵STP-XA2703C維修
良好的轉子設計
增強的 H2、N2 和 Ar 性能
改進了在高真空到 2300 sccm 制程壓力范圍內的性能
免維護
5 軸磁懸浮系統
無污染
低振動
創新性轉矩管理
獲得轉矩減少機械裝置
優化的溫度管理系統
高溫 TMS 能力
低沉積
內置冷卻機械裝置
更高的氣體吞吐量(加熱和未加熱)
延長壽命
可用于嚴苛制程
認證
入口法蘭 | VG250 |
抽速 | |
N2 | 2650 ls-1 |
H2 | 2050 ls-1 |
壓縮比 | |
N2 | >108 |
H2 | >6 x 103 |
極限壓力 | 10-7 Pa |
大允許前級壓力 | 266 Pa |
大允許氣體流量 | |
N2(水冷卻) | 2300 sccm |
(3.8 Pam3s-1) | |
Ar(水冷卻) | 1900 sccm |
(3.2 Pam3s-1) | |
額定速度 | 27500 rpm |
啟動時間 | 8 min |
固定位置 | 任何方向 |
水冷卻流量 | 3 lmin-1 |
水冷卻溫度 | 5-25 °C (41-77 °F) |
壓力 | 0.3 MPa |
推薦的吹掃氣體流量 | 50 sccm (8.4 x 10-2 Pam3s-1) |
輸入電壓 | 200 至 240 V 交流(± 10) |
功耗 | 1.5 kVA |
泵重量 | 75 kg (165 lb) |
控制器重量 | 12 kg (26.4 lb) |
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一、進口真空泵維修:
1、BOC EDWARDS(愛德華):GV系列(GV600、GV600-EH4200)、IQDP系列(IQDP80)、QDP系列、DP系列、E1M系列、E2M系列、EH系列、QMB系列、RV系列、ESDP12、GVSP30等。
2、ALCATEL(阿爾卡特):ADS系列(ADS 602H/P、ADS1802H/P)、ADP系列(ADP122)、ACP系列(ACP28、ACP40)、RHV系列、SD系列、C1系列、C2系列、I系列、H1系列、A系列等。
3、LEYBOLD(萊寶):SV系列(SV65B等)、SC系列、DIVAC系列、DK系列、DRYVAC系列、WS系列、SP系列、TRIVAC系列、WH/WHU系列等
4、EBARA(易巴拉):A系列、AV系列、AW系列、AA系列、AAS系列、X系列等。
5、KASHIYAMA:MU系列、SDE系列、SDL系列、KMB系列、NeoDRY系列等。
6、ORION(好利旺):KRX系列、CBX系列、KRF系列、KHF系列、KHA系列、KRA系列、KHH系列等。
7、BECKER(貝克):U系列、VT系列、KVT系列、VTLF系列、T系列、DVT系列、DVTLF系列等。
8、RIETSCHLE(里其樂):VCA/AH/CB/CE/CEH/CH/GD油旋片真空泵系列、CF/F/FD/FDE/FE/FEH/FG/FT/FZ干式旋片真空/壓縮泵系列、VL/DT/KT干式旋片真空/壓縮泵系列等。
9、ULVAC(愛發科):GLD油旋片真空泵系列、VDN/VSN油選片真空泵系列、PVD油旋片真空泵系列等。
10、VIRIAN(瓦里安):DS/HS/SD/CD系列油旋片真空泵系列、TS/DS干式真空泵系列等。
11、IWATA(巖田)DVSL-100C/ISP-50/ISP-90/ISP-250C/ISP-500C/ISPC-1000/GVSC-500B/GVSC-501B/
12、HANBELL(漢鐘)PS80/PS160/PS180/PS602/PS902/PS1302/PS1802/PD300/PD500/PD1902/PD2152/PD3052/PD3652
二、進口真空泵配件銷售:
1、類型:真空泵維修包、旋片、軸承、油封、過濾器、轉子、軸、隔板、密封圈、定位銷、控制板等。
2、品牌:BOC EDWARDS(愛德華)、ALCATEL(阿爾卡特)、LEYBOLD(萊寶)、EBARA(依巴拉)、KASHIYAMA、ORION(好利旺)、BECKER(貝克)、RIETSCHLE(里其樂)、ULVAC(愛發科)、VIRIAN(瓦里安)等。
三、進口真空油銷售:
品牌:FOMBLIN真空油、EDWARDS真空油、ADIXEN真空油等。