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產品名稱: 英國愛德華渦輪分子真空泵STP-XA2703C維修
產品時間: 2019-04-15
產品型號: STP-XA2703C
產品特點: STP-XA2703C 渦輪泵為高真空到 2300 sccm 制程流的制程范圍內提供高性能,并提高所有氣體的吞吐量。
此泵基于新的平臺設計,提供各種功能以改善熱管理,從而增強在嚴苛制程中的性能,提高大制程流能力,并減少腐蝕和沉積的影響。英國愛德華渦輪分子真空泵STP-XA2703C維修

英國愛德華渦輪分子真空泵STP-XA2703C維修 的詳細介紹

英國愛德華渦輪分子泵STP-XA2703C VG250

 

概述

STP-XA2703C 渦輪泵為高真空到 2300 sccm 制程流的制程范圍內提供高性能,并提高所有氣體的吞吐量。 

此泵基于新的平臺設計,提供各種功能以改善熱管理,從而增強在嚴苛制程中的性能,提高大制程流能力,并減少腐蝕和沉積的影響。 

其出色的性能既適用于溫和的應用環境,也適用于嚴苛的環境,例如半導體刻蝕、注入、光刻和 LCD 制程。英國愛德華渦輪分子真空泵STP-XA2703C維修

應用

  • 金屬(鋁)、鎢和電介質(氧化物)以及多晶硅等離子刻蝕(氯化物、氟化物和溴化物)
  • 電子回旋共振 (ECR) 刻蝕
  • 薄膜沉積 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
  • 濺射
  • 離子注入源,射束線泵送端點站
  • MBE
  • 擴散
  • 光致抗蝕劑脫模
  • 晶體/晶膜生長
  • 晶片檢查
  • 負載鎖真空腔
  • 科學儀器:表面分析、質譜分析、電子顯微鏡
  • 高能物理:射束線、加速器
  • 放射線應用:融合系統、回旋英國愛德華渦輪分子真空泵STP-XA2703C維修

    功能和優勢

    良好的轉子設計  

  • 增強的 H2、N2 和 Ar 性能

  • 改進了在高真空到 2300 sccm 制程壓力范圍內的性能

  • 免維護

  • 5 軸磁懸浮系統  

  • 無污染

  • 低振動

  • 創新性轉矩管理  

  • 獲得轉矩減少機械裝置

  • 優化的溫度管理系統  

  • 高溫 TMS 能力

  • 低沉積

  • 內置冷卻機械裝置

  • 更高的氣體吞吐量(加熱和未加熱)

  • 延長壽命

  • 可用于嚴苛制程

  • 認證  

  • 符合 SEMI®,具有 CE 標記,列于 UL 中

    技術數據

    入口法蘭VG250
    抽速 
      N22650 ls-1
      H22050 ls-1
    壓縮比 
      N2>108
      H2>6 x 103
    極限壓力10-7 Pa
    大允許前級壓力266 Pa
    大允許氣體流量 
    N2(水冷卻)2300 sccm
     (3.8 Pam3s-1)
    Ar(水冷卻)1900 sccm
     (3.2 Pam3s-1)
    額定速度27500 rpm
    啟動時間8 min
    固定位置任何方向
    水冷卻流量3 lmin-1
    水冷卻溫度5-25 °C (41-77 °F)
    壓力0.3 MPa
    推薦的吹掃氣體流量50 sccm (8.4 x 10-2 Pam3s-1)
    輸入電壓200 至 240 V 交流(± 10)
    功耗1.5 kVA
    泵重量75 kg (165 lb)
    控制器重量12 kg (26.4 lb)

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一、進口真空泵維修:
1、BOC EDWARDS(愛德華):GV系列(GV600、GV600-EH4200)、IQDP系列(IQDP80)、QDP系列、DP系列、E1M系列、E2M系列、EH系列、QMB系列、RV系列、ESDP12、GVSP30等。
2、ALCATEL(阿爾卡特):ADS系列(ADS 602H/P、ADS1802H/P)、ADP系列(ADP122)、ACP系列(ACP28、ACP40)、RHV系列、SD系列、C1系列、C2系列、I系列、H1系列、A系列等。
3、LEYBOLD(萊寶):SV系列(SV65B等)、SC系列、DIVAC系列、DK系列、DRYVAC系列、WS系列、SP系列、TRIVAC系列、WH/WHU系列等
4、EBARA(易巴拉):A系列、AV系列、AW系列、AA系列、AAS系列、X系列等。
5、KASHIYAMA:MU系列、SDE系列、SDL系列、KMB系列、NeoDRY系列等。
6、ORION(好利旺):KRX系列、CBX系列、KRF系列、KHF系列、KHA系列、KRA系列、KHH系列等。
7、BECKER(貝克):U系列、VT系列、KVT系列、VTLF系列、T系列、DVT系列、DVTLF系列等。
8、RIETSCHLE(里其樂):VCA/AH/CB/CE/CEH/CH/GD油旋片真空泵系列、CF/F/FD/FDE/FE/FEH/FG/FT/FZ干式旋片真空/壓縮泵系列、VL/DT/KT干式旋片真空/壓縮泵系列等。
9、ULVAC(愛發科):GLD油旋片真空泵系列、VDN/VSN油選片真空泵系列、PVD油旋片真空泵系列等。
10、VIRIAN(瓦里安):DS/HS/SD/CD系列油旋片真空泵系列、TS/DS干式真空泵系列等。
11、IWATA(巖田)DVSL-100C/ISP-50/ISP-90/ISP-250C/ISP-500C/ISPC-1000/GVSC-500B/GVSC-501B/
12、HANBELL(漢鐘)PS80/PS160/PS180/PS602/PS902/PS1302/PS1802/PD300/PD500/PD1902/PD2152/PD3052/PD3652

二、進口真空泵配件銷售:
1、類型:真空泵維修包、旋片、軸承、油封、過濾器、轉子、軸、隔板、密封圈、定位銷、控制板等。
2、品牌:BOC EDWARDS(愛德華)、ALCATEL(阿爾卡特)、LEYBOLD(萊寶)、EBARA(依巴拉)、KASHIYAMA、ORION(好利旺)、BECKER(貝克)、RIETSCHLE(里其樂)、ULVAC(愛發科)、VIRIAN(瓦里安)等。

三、進口真空油銷售:
品牌:FOMBLIN真空油、EDWARDS真空油、ADIXEN真空油等。

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