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英國愛德華渦輪分子真空泵STP-L301C ISO100 入口

概述

Edwards 的防腐蝕 STP-L301(C) 用于電子顯微鏡和半導體應用。Edwards 的轉子技術可實現的性能，大的制程靈活性。英國愛德華真空分子渦輪泵STP-L301C
  
STP-L301(C) 已經由科學儀器、半導體和磁介質行業的大型設備制造商投入使用，并得到了認可。英國愛德華真空分子渦輪泵STP-L301C

應用

• 金屬（鋁）、鎢和電介質（氧化物）以及多晶硅等離子刻蝕（氯化物、氟化物和溴化物）
• 電子回旋共振 (ECR) 刻蝕
• 薄膜沉積 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
• 濺射
• 離子注入源，射束線泵送端點站
• MBE
• 擴散
• 光致抗蝕劑脫模
• 晶體/晶膜生長
• 晶片檢查
• 負載鎖真空腔
• 科學儀器：表面分析、質譜分析、電子顯微鏡
• 高能物理：射束線、加速器
• 放射線應用：融合系統、回旋

功能和優勢

良好的轉子技術  

• 大的制程靈活性

• 無油

• 低振動

• 高度可靠

• 免維護

良好的控制器設計  

• 自動調整

• 自行診斷功能

• 直流電機驅動

• 無電池運行

緊湊型設計  

• 占地面積小

• 半機架控制器

低振動  

• 內置振動隔離系統提供了優于 STP301C 和外部隔離器的性能。

技術數據

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鎮江常州揚州泰州南通南京啟東海門如皋英國愛德華真空分子渦輪泵維修STP-L301C

海門海安如東宿遷徐州合肥蕪湖杭州湖州英國愛德華真空分子渦輪泵維修STP-L301C

溫州臺州衢州紹興金華寧波余姚福州廈門英國愛德華真空分子渦輪泵維修STP-L301C
泉州深圳廣州珠海廣州惠州通州桂林南寧英國愛德華真空分子渦輪泵維修STP-L301C

南昌贛州武漢成都重慶荊州太原蘭州英國愛德華真空分子渦輪泵維修STP-L301C

烏魯木齊石家莊天津長春吉林濟南英國愛德華真空分子渦輪泵維修STP-L301C

青島威海德州連云港昆明九江安慶英國愛德華真空分子渦輪泵維修STP-L301C

一、進口真空泵維修：
1、BOC EDWARDS(愛德華)：GV系列(GV600、GV600-EH4200)、IQDP系列(IQDP80)、QDP系列、DP系列、E1M系列、E2M系列、EH系列、QMB系列、RV系列、ESDP12、GVSP30等。
2、ALCATEL(阿爾卡特)：ADS系列(ADS 602H/P、ADS1802H/P)、ADP系列(ADP122)、ACP系列(ACP28、ACP40)、RHV系列、SD系列、C1系列、C2系列、I系列、H1系列、A系列等。
3、LEYBOLD(萊寶)：SV系列(SV65B等)、SC系列、DIVAC系列、DK系列、DRYVAC系列、WS系列、SP系列、TRIVAC系列、WH/WHU系列等
4、EBARA(易巴拉)：A系列、AV系列、AW系列、AA系列、AAS系列、X系列等。
5、KASHIYAMA：MU系列、SDE系列、SDL系列、KMB系列、NeoDRY系列等。
6、ORION(好利旺)：KRX系列、CBX系列、KRF系列、KHF系列、KHA系列、KRA系列、KHH系列等。
7、BECKER(貝克)：U系列、VT系列、KVT系列、VTLF系列、T系列、DVT系列、DVTLF系列等。
8、RIETSCHLE(里其樂)：VCA/AH/CB/CE/CEH/CH/GD油旋片真空泵系列、CF/F/FD/FDE/FE/FEH/FG/FT/FZ干式旋片真空/壓縮泵系列、VL/DT/KT干式旋片真空/壓縮泵系列等。
9、ULVAC(愛發科)：GLD油旋片真空泵系列、VDN/VSN油選片真空泵系列、PVD油旋片真空泵系列等。
10、VIRIAN(瓦里安)：DS/HS/SD/CD系列油旋片真空泵系列、TS/DS干式真空泵系列等。
11、IWATA（巖田）DVSL-100C/ISP-50/ISP-90/ISP-250C/ISP-500C/ISPC-1000/GVSC-500B/GVSC-501B/
12、HANBELL（漢鐘）PS80/PS160/PS180/PS602/PS902/PS1302/PS1802/PD300/PD500/PD1902/PD2152/PD3052/PD3652

二、進口真空泵配件銷售：
1、類型：真空泵維修包、旋片、軸承、油封、過濾器、轉子、軸、隔板、密封圈、定位銷、控制板等。
2、品牌：BOC EDWARDS(愛德華)、ALCATEL(阿爾卡特)、LEYBOLD(萊寶)、EBARA(依巴拉)、KASHIYAMA、ORION(好利旺)、BECKER(貝克)、RIETSCHLE(里其樂)、ULVAC(愛發科)、VIRIAN(瓦里安)等。

三、進口真空油銷售：
品牌：FOMBLIN真空油、EDWARDS真空油、ADIXEN真空油等。