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產(chǎn)品展示
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產(chǎn)品名稱: 日本KASHIYAMA干式真空泵SDE804060
產(chǎn)品時間: 2019-04-28
產(chǎn)品型號: SDE804060
產(chǎn)品特點: KASHIYAMA工業(yè)株式會社，多年來致力于真空技術(shù)的研究，不斷開發(fā)進(jìn)取，在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域和高科技行業(yè)中擁有*的信譽(yù)。尤其在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，獲得了客戶的高度評價與信賴。日本KASHIYAMA干式真空泵SDE804060

日本KASHIYAMA干式真空泵SDE804060 的詳細(xì)介紹

日本KASHIYAMA干式真空泵SDE804060

簡單介紹

KASHIYAMA工業(yè)株式會社，多年來致力于真空技術(shù)的研究，不斷開發(fā)進(jìn)取，在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域和高科技行業(yè)中擁有*的信譽(yù)。尤其在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，獲得了客戶的高度評價與信賴。

日本KASHIYAMA干式真空泵SDE804060

詳細(xì)介紹

KASHIYAMA工業(yè)的干式真空泵系列已經(jīng)成為半導(dǎo)體制造業(yè)與液晶顯示制造行業(yè)的標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備。并，除此之外，魯式及排氣組合式真空泵設(shè)備則在其他領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。日本KASHIYAMA干式真空泵SDE804060

SDE系列

*高抽速可達(dá)200,000 L / min級

適用于大型晶圓/ FPD基板

回應(yīng)每個過程

值得信賴的真空技術(shù)。 一個多樣化的產(chǎn)品組，具有的動力。

Kashiyama Industry的產(chǎn)品贏得了客戶的廣泛信賴，包括半導(dǎo)體和液晶制造領(lǐng)域。

我們多年來培養(yǎng)的真空技術(shù)已成為這種信任的基礎(chǔ)。

特別是，一系列干式泵已成為半導(dǎo)體制造工藝的標(biāo)準(zhǔn)，是一種可以說是這種真空技術(shù)的高潮的產(chǎn)品，并且得到了客戶的高度贊譽(yù)，它在*困難的工藝中表現(xiàn)出*可靠的性能。。

不僅是干泵，還有機(jī)械增壓泵，真空排氣設(shè)備等。由Kashiyama的真空技術(shù)生產(chǎn)的產(chǎn)品組在多個領(lǐng)域展示了它的強(qiáng)大功能。

特點

采用優(yōu)良的倉庫性能的立式螺絲

結(jié)構(gòu)材料和溫度設(shè)定導(dǎo)致的高耐腐蝕性

 

仕様 / 型式 *1SDE1220SDE20M20SDE30M20SDE4060SDE4030M20SDE8060SDE804060
*大排気速度20,00030,00050,00060,00080,000120,000190,000
[L/min] *2
到達(dá)圧力0.50.80.50.80.5
[Pa] *2
電源電圧3相 AC200～220V, 380～480V
(50/60Hz)
外観寸法 [mm]W:400W:450W:450W:750W:800W:850W:1000
W*H*L *3H:780H:950H:950H:1200H:1580H:1220H:1980
 L:930L:1000L:1000L:1600L:1320L:1600L:1850
 

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