簡單介紹
KASHIYAMA工業株式會社,多年來致力于真空技術的研究,不斷開發進取,在半導體制造領域和高科技行業中擁有*的信譽。尤其在半導體制造領域,獲得了客戶的高度評價與信賴。
KASHIYAMA工業的干式真空泵系列已經成為半導體制造業與液晶顯示制造行業的標準設備。并,除此之外,魯式及排氣組合式真空泵設備則在其他領域得到廣泛應用。KASHIYAMA樫山干式真空泵NeoDry300E維修
小型風冷干式真空泵NeoDry系列
維護周期每三年實現一次!(推薦的空氣/ N 2吸氣時間)
如渦旋泵更換*密封·性能惡化·無磨損粉末!
像旋轉泵一樣不產生油煙·真空室無污染
輕巧,緊湊,可滾動·易于更換旋轉泵!
可以排出水蒸氣和溶劑等可冷凝氣體!
低噪音,低振動,適用于研究設施!
KASHIYAMA樫山干式真空泵NeoDry300E維修
值得信賴的真空技術。 一個多樣化的產品組,具有的動力。
Kashiyama Industry的產品贏得了客戶的廣泛信賴,包括半導體和液晶制造領域。
我們多年來培養的真空技術已成為這種信任的基礎。
特別是,一系列干式泵已成為半導體制造工藝的標準,是一種可以說是這種真空技術的高潮的產品,并且得到了客戶的高度贊譽,它在*困難的工藝中表現出*可靠的性能。。
不僅是干泵,還有機械增壓泵,真空排氣設備等。由Kashiyama的真空技術生產的產品組在多個領域展示了它的強大功能。
特點
采用優良的倉庫性能的立式螺絲
結構材料和溫度設定導致的高耐腐蝕性
仕様 / 型式 | NeoDry7E | NeoDry15E | NeoDry30E | NeoDry36E | NeoDry60E | NeoDry300E |
*大排気速度 | 110 | 250 | 500 | 600 | 1,000 | 5,000 |
[L/min] | ||||||
到達圧力 [Pa] | 5 | 1 | 0.3 | |||
(不使用氣鎮機構時) | ||||||
電源電圧 | 単相AC100~120V | 単相AC100~120V, 単相AC200~240V | 単相AC200~240V | |||
(50/60Hz) *1 | 単相AC200~240V | 3相AC200~240V | 3相AC200~240V | |||
氣鎮機制 | 標準採用 | 可選設置(可安裝N2) | 標準採用 | |||
*大水蒸気処理量[g/h] | 120 | 250 | 350 | 600 | ||
(使用氣鎮機構時) | ||||||
騒音値 [dB(A)] | ≦56 | ≦58 | ≦60 | ≦72 | ||
(吸気口全閉時) | ||||||
振動値 [μmp-p] | ≦8 | |||||
(吸気口全閉時) | ||||||
質量 [kg] | 19 | 23 | 25 | 54 | 56 | 125 |
吸気口徑 | NW25 | NW40 | NW50 | |||
排気口徑 | NW25 | |||||
外観寸法 [mm] | W:196 | W:210 | W:210 | W:298 | W:315 | W:304 |
W*H*L *2 | H:219 | H:250 | H:250 | H:275 | H:275 | H:575 |
L:360 | L:385 | L:410 | L:475 | L:530 | L:574 |
蘇州昆山太倉無錫上海張家港吳江常熟鎮江日本KASHIYAMA樫山干式真空泵維修、NeoDry300E維修保養
常州揚州泰州南通南京啟東海門如皋海門海安日本KASHIYAMA樫山干式真空泵維修、NeoDry300E維修保養
如東宿遷徐州合肥蕪湖杭州湖州溫州臺州衢州日本KASHIYAMA樫山干式真空泵維修、NeoDry300E維修保養
紹興金華寧波余姚福州廈門泉州深圳廣州珠海日本KASHIYAMA樫山干式真空泵維修、NeoDry300E維修保養
廣州惠州通州桂林南寧南昌贛州武漢成都重慶日本KASHIYAMA樫山干式真空泵維修、NeoDry300E維修保養
荊州太原蘭州烏魯木齊石家莊天津長春吉林日本KASHIYAMA樫山干式真空泵維修、NeoDry300E維修保養
濟南青島威海德州連云港昆明九江安慶日本KASHIYAMA樫山干式真空泵維修、NeoDry300E維修保養
一、進口真空泵維修:
1、BOC EDWARDS(愛德華):GV系列(GV600、GV600-EH4200)、IQDP系列(IQDP80)、QDP系列、DP系列、E1M系列、E2M系列、EH系列、QMB系列、RV系列、ESDP12、GVSP30等。
2、ALCATEL(阿爾卡特):ADS系列(ADS 602H/P、ADS1802H/P)、ADP系列(ADP122)、ACP系列(ACP28、ACP40)、RHV系列、SD系列、C1系列、C2系列、I系列、H1系列、A系列等。
3、LEYBOLD(萊寶):SV系列(SV65B等)、SC系列、DIVAC系列、DK系列、DRYVAC系列、WS系列、SP系列、TRIVAC系列、WH/WHU系列等
4、EBARA(易巴拉):A系列、AV系列、AW系列、AA系列、AAS系列、X系列等。
5、KASHIYAMA:MU系列、SDE系列、SDL系列、KMB系列、NeoDRY系列等。
6、ORION(好利旺):KRX系列、CBX系列、KRF系列、KHF系列、KHA系列、KRA系列、KHH系列等。
7、BECKER(貝克):U系列、VT系列、KVT系列、VTLF系列、T系列、DVT系列、DVTLF系列等。
8、RIETSCHLE(里其樂):VCA/AH/CB/CE/CEH/CH/GD油旋片真空泵系列、CF/F/FD/FDE/FE/FEH/FG/FT/FZ干式旋片真空/壓縮泵系列、VL/DT/KT干式旋片真空/壓縮泵系列等。
9、ULVAC(愛發科):GLD油旋片真空泵系列、VDN/VSN油選片真空泵系列、PVD油旋片真空泵系列等。
10、VIRIAN(瓦里安):DS/HS/SD/CD系列油旋片真空泵系列、TS/DS干式真空泵系列等。
11、IWATA(巖田)DVSL-100C/ISP-50/ISP-90/ISP-250C/ISP-500C/ISPC-1000/GVSC-500B/GVSC-501B/
12、HANBELL(漢鐘)PS80/PS160/PS180/PS602/PS902/PS1302/PS1802/PD300/PD500/PD1902/PD2152/PD3052/PD3652
二、進口真空泵配件銷售:
1、類型:真空泵維修包、旋片、軸承、油封、過濾器、轉子、軸、隔板、密封圈、定位銷、控制板等。
2、品牌:BOC EDWARDS(愛德華)、ALCATEL(阿爾卡特)、LEYBOLD(萊寶)、EBARA(依巴拉)、KASHIYAMA、ORION(好利旺)、BECKER(貝克)、RIETSCHLE(里其樂)、ULVAC(愛發科)、VIRIAN(瓦里安)等。
三、進口真空油銷售:
品牌:FOMBLIN真空油、EDWARDS真空油、ADIXEN真空油等。