英國愛德華edwards半導體iH160干式真空泵維修
Edwards 高級半導體真空泵已經過現場應用證明,可以按照高工作標準運行。通過延長使用壽命、提高運行時間并提高生產率,同時減小占地面積、降低運行成本,實現了高的可靠性和性能。
iH 系列為難以執行的制程(如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產品的 PECVD 和 LPCVD 制程)提供了高可靠性。
有關任何特定應用條件下 iH 系統穩定性的建議,請與 Edwards 聯系。
峰值速度 | 165 m3h-1 |
97 cfm | |
2750 l min-1 | |
極限真空 | 1 x 10-2 mbar |
7.5 x 10-3 Torr | |
1 Pa | |
典型軸封氮流量 | 4 slm |
進氣口連接 | ISO63 |
出口連接 | NW40 |
15 psi 壓降下典型冷卻水流量 | 120 l h-1 |
2 l min-1 | |
重量 | 244 kg |
極限功率輸入 | 3.1 kW |
電機額定功率 | 5.0 kW |
油容量 | 0.85 l |
所有數字均為無氣鎮時的典型值。
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