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高真空環(huán)境下測定，對真空計的精度(感度平衡，誤差等)和較短的壽命(測定子污垢，放電難等)有困惑嗎？ULVAC針對該愿望，開發(fā)了在嚴(yán)酷環(huán)境下長久，高精度測定的電離真空計。世界上三極管型金屬電離真空計，對運(yùn)轉(zhuǎn)費(fèi)大幅削減，過程布留率提高都有效果。

復(fù)合真空計G-TRAN系列特點(diǎn)

• 世界上三極管型金屬電離真空計
  可以實(shí)現(xiàn)在惡劣環(huán)境下將 三極管的優(yōu)點(diǎn)大化，并實(shí)現(xiàn)長壽命的真空計

• 測定精度的提高
  實(shí)現(xiàn)測定精度±10％，感度穩(wěn)定性提升

• 測定子的小型化?金屬制
  不必?fù)?dān)心玻璃破損

• 廣域測定
  可以測定從大氣壓到高真空的領(lǐng)域（10+5Pa～10-5Pa）（SPU?SAU在同時使用的情況下）

• 可以連接不同范圍的測定子
  可以根據(jù)多離子規(guī)的用途來選擇測定子

• 準(zhǔn)確的大氣壓測定
  可以容易且準(zhǔn)確的確認(rèn)大氣壓（在使用SAU的情況下）

• 低環(huán)境負(fù)荷對應(yīng)
  在運(yùn)行成本的減少下，可以替換必要的測定子

• 燈絲使用壽命的通知功能
  通過電源監(jiān)控，可以提前通知的燈絲壽命

• 辨認(rèn)性的提升
  搭載一眼可以確認(rèn)清楚真空計狀態(tài)的LED

• 保養(yǎng)
  容易更換測定子

• 合適規(guī)格
  CE標(biāo)準(zhǔn)對應(yīng)

用途

有機(jī)EL、觸摸屏等的制造裝置到達(dá)壓力確認(rèn)以及過程管理用真空爐等各種產(chǎn)業(yè)用真空裝置的到達(dá)壓力確認(rèn)

• 碳化氫（油基）多的環(huán)境下測定

• 真空部品加工時的切削油及洗凈液殘留的環(huán)境下測定

• 為了降低真空計測定子的更換頻度真空裝置中用

※腐蝕性氣體（鹵素氣體）環(huán)境下使用的場合請商談。

復(fù)合真空計G-TRAN系列規(guī)格

■ 各模式規(guī)格：SH2-1/SH2-2可選擇SH2-1/SH2-2是多離子規(guī)單體模式，皮拉尼真空計與組合模式，皮拉尼真空計及大氣壓傳感器與三倍組合模式的3種使用方法

模式	SH2-1/SH2-2 單體模式	SH2-1/SH2-2＋SPU 組合模式	SH2-1/SH2-2＋SPU＋SAU 組合模式
測定壓力范圍	5×10-8?1×10+1Pa	5×10-8?1×10+4Pa	5×10-8?1×10+5Pa
測定精度	5×10-8?1×10+1Pa： ±15%	5×10-8?1×10+3Pa： ±15% 1.0×10+3?3.0×10+3Pa： ±30% 3.0×10+3?1.0×10+4Pa： 不保證精度	5×10-8?1×10+3Pa： ±15% 1.0×10+3?3.0×10+3Pa： ±30% 3.0×10+3?1.0×10+4Pa： 不保證精度 1.0×10+4?1.0×10+5Pa： ±3%F.S. (3×10+3Pa? 基準(zhǔn)溫度25oC)
反復(fù)精度	1×10-6?1×10-1Pa： ±2%
連接圖 (例)