排氣速度(20℃) | 氮氣 | L/s | 3,000 |
氫氣 | 3,000 | ||
氬氣 | 2,500 | ||
水 | 9,000 | ||
到達壓力 | Pa(Torr) | 10-7(10-9) | |
大流量 | 氬氣 | Pa?L/s(Torr?L/s) | 2.7×103(19) |
排氣容量 | 氬氣 | Pa?L(Torr?L) | 2.0×108(1.5×106) |
氫氣 | 1.2×106(9.1×103) *1 | ||
氫氣 | 2.4×106(1.8×104) *2 | ||
冷卻降下時間 (電力循環) | min(Hz) | 45(60) | |
吸氣口法蘭 | 10BANSI | ||
質量 | Kg | 39.0 |
*維護間隔:16,000小時
*氫氣的排気容量是吸著平衡圧力到達以下壓力時的總排氣量。
*1:(5×10-8Torr)
*2:(5×10-6Torr)
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排氣速度(20℃) | 氮氣 | L/s | 3,000 |
氫氣 | 3,000 | ||
氬氣 | 2,500 | ||
水 | 9,000 | ||
到達壓力 | Pa(Torr) | 10-7(10-9) | |
大流量 | 氬氣 | Pa?L/s(Torr?L/s) | 2.7×103(19) |
排氣容量 | 氬氣 | Pa?L(Torr?L) | 2.0×108(1.5×106) |
氫氣 | 1.2×106(9.1×103) *1 | ||
氫氣 | 2.4×106(1.8×104) *2 | ||
冷卻降下時間 (電力循環) | min(Hz) | 45(60) | |
吸氣口法蘭 | 10BANSI | ||
質量 | Kg | 39.0 |
*維護間隔:16,000小時
*氫氣的排気容量是吸著平衡圧力到達以下壓力時的總排氣量。
*1:(5×10-8Torr)
*2:(5×10-6Torr)
排氣速度(20℃) | 氮氣 | L/s | 1,500 |
氫氣 | 2,500 | ||
氬氣 | 1,200 | ||
水 | 4,000 | ||
到達壓力 | Pa(Torr) | 10-7(10-9) | |
大流量 | 氬氣 | Pa?L/s(Torr?L/s) | 1.2×103(8.9) |
排氣容量 | 氬氣 | Pa?L(Torr?L) | 1.0×108(7.6×105) |
氫氣 | 6.1×105(4.6×103) *1 | ||
氫氣 | 1.2×106(9.1×103) *2 | ||
冷卻降下時間 (電力循環) | min(Hz) | 90(60) | |
吸氣口法蘭 | 6BANSI | ||
質量 | Kg | 20.4 |
*維護間隔:16,000小時
*氫氣的排気容量是吸著平衡圧力到達以下壓力時的總排氣量。
*1:(5×10-8Torr)
*2:(5×10-6Torr)
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