日本愛發科標準低溫真空泵CRYO-U8H維修保養?
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排氣速度(20℃) | 氮氣 | L/s | 1.700 |
氫氣 | 2,700 | ||
氬氣 | 1,400 | ||
水 | 4,000 | ||
到達圧力 | Pa(Torr) | 10-7(10-9) | |
大流量 | 氬氣 | Pa?L/s(Torr?L/s) | 1.2×103(8.9) |
氫氣 | 2.4×102(1.8) | ||
排氣容量 | 氬氣 | Pa?L(Torr?L) | 1.0×108(7.6×105) |
氫氣 | 1.0×106(7.6×103) | ||
冷卻下降時間 (電力循環) | min(Hz) | 100/90(50/60) | |
吸氣口法蘭 | UVG-200,6BANSI,UFC-253 | ||
壓縮機 | C10, C10AT, C10ES | ||
質量 | Kg | 20.8 |
*維護間隔:16,000小時
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