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產品名稱: 愛發科羅茨真空泵 PRC 系列維修
產品時間: 2019-02-09
產品型號: PRC003A PRC006A PRC012A
產品特點: 羅茨泵是配合干泵、油回轉泵、水封泵等組合使用，可以提高粗制泵排氣速度低下的10kPa-0.1Pa領域的排氣速度。
PRC 系列是特別為潔凈度要求高的半導體、液晶制造使用設計的羅茨泵。可以選擇大氣驅動型。愛發科羅茨真空泵 PRC 系列維修

愛發科羅茨真空泵 PRC 系列維修 的詳細介紹

羅茨泵
PRC 系列

 

羅茨泵是配合干泵、油回轉泵、水封泵等組合使用，可以提高粗制泵排氣速度低下的10kPa-0.1Pa領域的排氣速度。
PRC 系列是特別為潔凈度要求高的半導體、液晶制造使用設計的羅茨泵。可以選擇大氣驅動型。


愛發科羅茨真空泵 PRC 系列維修?

特點

  • 無油
    泵殼室無潤滑油，水蒸氣、溶劑等的蒸汽穩定。
  • 采用罐式馬達
    采用罐式馬達、可以沒有大氣壓/真空的機械。不用擔心漏油、可以在清潔的環境中使用。
  • 耐腐蝕性優異的表面處理
    主要部品表面實施了硬度高耐腐蝕性優異的耐酸鋁處理、抑制了泵內部的腐蝕傷害。
  • 排氣時間縮短有效的大氣壓驅動型（選項：變換器）
    可以和粗制泵同時啟動，比標準型的排氣時間更短。愛發科羅茨真空泵 PRC 系列維修?

用途

  • 蒸著、濺射、離子電鍍
  • 真空干燥、凍結干燥、真空脫氣
  • 分析機器、檢漏裝置
  • 氣體置換、充填、真空斷熱
  • 熱處理爐、溶解爐
  • 其他各種真空裝置
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    日本愛發科羅茨真空泵 PRC 系列維修PRC003A PRC006A PRC012A PRC018A
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    日本愛發科羅茨真空泵 PRC 系列維修PRC003A PRC006A PRC012A PRC018A
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    日本愛發科羅茨真空泵 PRC 系列維修PRC003A PRC006A PRC012A         PRC018A

式樣

型式

PRC-003APRC-006APRC-012APRC-018A
大排氣速度50Hzm3/h(L/min)280（4670）500（8330）1000（16700）1500（25000）
60Hz330（5500）600（10000）1200（20000）1800（30000）
大吸入壓力50HzPa1.2 x 1031.3 x 1031.2 x 103
60Hz9.3 x 1021.1 x 1039.3 x 102
大容許壓力差50HzPa4.0 x 1037.3 x 1034.3 x 103
60Hz3.3 x 1036.0 x 1033.2 x 103
到達壓力  *1Pa4.0 x 10-16.7 x 10-1
驅動可能圧力Pa?1.0 x 105（大氣壓驅動型）
電機出力（極數）  *2kW0.75（2）2.2（2）3.7（2）5.5（2）
使用油　*3ULVOIL R-4
所要油量L0.71.51.9
冷卻方式水冷
冷卻水一時側圧力MPa0.3
出入口差圧MPa0.01以上
冷卻水量L/min23
冷卻水溫度  *4ºC5 ? 30
吸氣口徑　JIS-B-2290VG80相當VG100相當VG150相當
排氣口徑　JIS-B-2290VF80相當VF100相當
外形尺寸（W×D×H）mm296×575×260356×619×320406×759×340406×989×340
質量  *5kg5186118150
標準輔助泵  *6VD601VD901VS1501VS2401
選項大氣壓驅動（變換器）、潤滑油、潤滑室排氣端口
注)

本式樣表、采用SI單位系。非SI單位系的換算請參照如下。
到達壓力：4.0 x 10-1 Pa = 3.0 x 10-3 torr　圧力：0.05MPa = 0.5kgf/cm2
PRC 系列不能對應耐圧防爆、安増防爆。

*1皮拉尼真空計測定（輔助泵、標準使用油）。麥克勞德真空計4.0×10-2Pa。
*2AC200V（50Hz/60Hz）、AC220V（60Hz）、3相
*3合成油選項：R-7000、氟油：可以選擇J25F。
*4冷卻水溫低時、請在不結露環境下使用。
*5標準泵的値。（選項：包含變換器）
*6羅茨泵的性能隨標準輔助泵的性能變化。上述數據是配合輔助泵時的值。

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